Đặc điểm quá trình khắc lý tưởng

Quá trình khắc lý tưởng cần có các đặc điểm chính sau để đáp ứng các yêu cầu chính xác cao của sản xuất chất bán dẫn và các trường xử lý nano vi mô khác:

① Viisotropic khắc, có nghĩa là chỉ khắc dọc mà không cần khoan bên . chỉ bằng cách này, chúng ta mới có thể đảm bảo sự sao chép chính xác của các hình dạng hình học giống hệt với các hình trên điện trở trên màng khắc;
Sự chọn lọc khắc tốt có nghĩa là tốc độ khắc của điện trở được sử dụng làm mặt nạ và màng hoặc vật liệu mỏng cơ bản thấp hơn nhiều so với màng mỏng được khắc, để đảm bảo hiệu quả của mặt nạ trong quá trình khắc và ngăn chặn thiệt hại cho các vật liệu khác bên dưới màng mỏng do khắc quá mức;
Các lô xử lý lớn, kiểm soát dễ dàng, chi phí thấp, ô nhiễm môi trường tối thiểu, phù hợp cho sản xuất công nghiệp .